産(chǎn)品時間：2025-12-01
mf4001廣東微小口(kou)徑氣體質量流(liú)量計是專門爲(wèi)各類小流🙇🏻量氣(qi)體的測量和過(guò)程控制而設計(jì)的。這一系列傳(chuán)感🌍器均采用本(ben)公司自👨❤️👨主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來制作，适用于(yu)各類清潔🌈氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shǐ)之可用于各類(lei)管徑，成本低、易(yì)安🧡裝、不需要溫(wēn)度壓力補償，可(ke)替代容積式或(huò)壓差式的傳統(tong)流量傳感器。
mf4001廣(guǎng)東微小口徑氣(qì)體質量流量計(jì)
産品特點(diǎn)：
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傳感器(qi)芯片采用熱質(zhi)量流量計量
,
無需溫度壓(ya)力補償
,
保(bǎo)證了傳
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在單個(ge)芯片上實現了(le)多傳感器集成(cheng)
,
使傳感器(qi)的量程比大大(da)提高
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傳感(gan)器的零點穩定(dìng)度高
全量(liang)程高穩定性
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低壓(ya)損
mf4001廣東微小(xiǎo)口徑氣體質量(liang)流量計
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性(xing)能參數 |
單位 |
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mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yí) |
±0.12 |
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響應時間 |
mses |
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工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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350 |
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pa |
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大(da)工作壓力 |
MPa |
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工作(zuo)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校準方(fāng)式 |
空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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