産品時(shi)間：2026-01-09
FS4001系列測量氣(qì)體流量傳感(gǎn)器是專門爲(wei)各類小流量(liàng)氣體🐪的🚶測量(liang)和過程控制(zhi)而設計的。這(zhe)一系列傳感(gan)器均采用本(ben)公司自主研(yan)🔴發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來制(zhi)作，适用于各(gè)類清潔氣體(tǐ)。
簡介：
FS4001系(xì)列測量氣體(tǐ)流量傳感器(qi) 适用于(yu)各類清潔氣(qì)體。*的封裝技(ji)術使之可用(yòng)于各類管徑(jing)，成♍本低、易安(ān)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(chang)，可替代容積(jī)式或壓差式(shì)🈚的傳🍉統流量(liàng)傳感器。
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傳感(gan)器靈敏度高(gāo)
,
有極小(xiǎo)的始動流量(liang)
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,
保證(zheng)了傳
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感(gan)器的高精度(du)計量
,
使傳感器(qi)的量程比大(dà)大提高
傳感器的零(líng)點穩定度高(gao)
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全量程(chéng)高穩定性
全量程高(gāo)精确度和優(you)良的重複性(xìng)
低壓損(sun)
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主(zhǔ)要參數：
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性能(neng)參數 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
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mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
SLPM |
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量(liàng)程比 |
>100：1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
%讀數 |
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零(líng)點輸出飄移(yi) |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方(fang)式 |
線性，RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量(liang)壓損 |
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大工作(zuò)壓力 |
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工作溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無(wú)結冰、無凝露(lù)） |
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機械接口 |
可(kě)拆式軟管接(jie)頭 |
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校準方式(shì) |
空氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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