FS4001系列實(shi)驗室氣體流(liu)量傳感器

産品簡(jian)介：

FS4001系列實驗(yan)室氣體流量(liang)傳感器 是專門爲各(ge)類小流量氣(qì)體的測量和(he)過程控制而(er)設計的。這一(yi)系列傳感器(qi)均采用本公(gong)司自主研發(fa)的微機電系(xi)統（ MEMS ）流量(liàng)傳感芯片來(lai)制作。

FS4001系列實(shi)驗室氣體流(liu)量傳感器 适用于各(gè)類清潔氣體(ti)。*的封裝技術(shu)使之可用于(yu)各類管徑，成(chéng)本低、易安裝(zhuang)、不需要溫度(du)壓力補償，可(ke)替🌈代容積式(shi)或壓💃差式🔴的(de)傳統流量傳(chuán)感器。

産品特點(dian)：
  - 傳感器(qi)靈敏度高 , 有極小的(de)始動流量
  - 傳感器芯(xīn)片采用熱質(zhì)量流量計量(liàng) , 無需溫(wēn)度壓力補償(cháng) , 保證了(le)傳
  - 感器(qì)的高精度計(jì)量
  - 在單(dān)個芯片上實(shí)現了多傳感(gǎn)器集成 , 使傳感器的(de)量程比大大(da)提高
  - 傳(chuán)感器的零點(diǎn)穩定度高
  - 全量程高(gāo)穩定性
  - 全量程高精(jīng)确度和優良(liang)的重複性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應時間(jian)快

機械(xie)尺寸：

主要參數(shù)：

性能參數	FS4001		單(dan)位
通 徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	>100：1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀(dú)數
零點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸出飄(piao)移	±0.12		%/oC
響應時間(jian)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式	線性(xing)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大(da)流量壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓力	0.5		MPa
工(gong)作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chu)溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械接(jie)口	可拆式軟(ruǎn)管接頭
校準(zhun)方式	空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g