産品(pǐn)簡介:
FS4001系(xì)列實驗(yan)室氣體(ti)流量傳(chuan)感器
是專(zhuān)門爲各(gè)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liàng)和過程(cheng)控制而(er)設計的(de)。這✉️一系(xi)列傳感(gan)器均采(cai)用本公(gong)司自主(zhu)研發的(de)微機電(dian)系統(
MEMS
)流量(liàng)傳感芯(xīn)片來制(zhi)作。
FS4001系列(liè)實驗室(shì)氣體流(liú)量傳感(gan)器
适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shi)之可用(yòng)于各✉️類(lei)管徑,成(cheng)本低、易(yi)安裝、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(li)補償,可(ke)替代容(rong)積式🐇或(huo)壓差式(shì)的傳👌統(tong)流量傳(chuán)感器。
産品特(tè)點:
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傳感器(qì)靈敏度(du)高
,
有極小(xiao)的始動(dong)流量
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傳感(gǎn)器芯片(piàn)采用熱(rè)質量流(liú)量計量(liàng)
,
無(wu)需溫度(dù)壓力補(bu)償
,
保證了(le)傳
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感器的(de)高精度(dù)計量
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在單(dan)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(jí)成
,
使傳感(gǎn)器的量(liang)程比大(dà)大提高(gāo)
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傳(chuán)感器的(de)零點穩(wěn)定度高(gao)
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全(quán)量程高(gāo)穩定性(xing)
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全(quán)量程高(gāo)精确度(dù)和優良(liang)的重複(fu)性
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低功耗(hao)
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低(di)壓損
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響應(ying)時間快(kuài)
機(ji)械尺寸(cun):
主要(yao)參數:
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性(xing)能參數(shu)
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FS4001
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單位
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通(tong) 徑
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1.0
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1.8
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mm
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大流(liú)量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SLPM
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量程(cheng)比
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>100:1
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精 度(du)
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性(xing)
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0.25
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%讀數
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零(ling)點輸出(chū)飄移
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±30
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mV
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輸(shu)出飄移(yi)
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±0.12
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%/oC
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響應時(shi)間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作(zuò)電源
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8~18Vdc,50mA
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輸(shū)出方式(shì)
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線性,RS232/模(mó)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
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大流量(liang)壓損
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350
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300
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pa
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大(dà)工作壓(ya)力
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0.5
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MPa
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工作(zuò)溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存(cun)儲溫度(dù)
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-20 ~ +65
|
oC
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工作濕(shī)度
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<95%RH(無結(jie)冰、無凝(ning)露)
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機械(xiè)接口
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可(ke)拆式軟(ruǎn)管接頭(tou)
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校準方(fang)式
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空氣(qi)(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa
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重(zhòng)量
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15
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g
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