FS4001系列小流量氣體質量流量傳感器-廣州迪川儀器儀表有限公司
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FS4001系(xi)列小流量氣(qi)體質量流量(liàng)傳感器

産品(pǐn)時間:2026-01-09

簡要描(miao)述:

FS4001系列小流(liu)量氣體質量(liang)流量傳感器(qi)是專門爲各(gè)類小流量氣(qi)體的測量和(he)過程控制而(er)設計的。這一(yi)系⛱️列傳感器(qi)均采用本公(gōng)司自主研發(fā)的微機電系(xì)統(MEMS)流量傳感(gǎn)芯片來制作(zuò),适用于各類(lèi)清🔞潔氣體。*的(de)封裝技術使(shǐ)之可用于各(gè)類管徑🚶‍♀️,成本(běn)低、易安裝、不(bu)需要溫度壓(ya)力補償,可替(tì)代容積式或(huo)壓差式的傳(chuan)統流量傳感(gan)器。

産品(pǐn)簡介:

産品特(te)點

FS4001系列(lie)小流量氣體(ti)質量流量傳(chuán)感器 靈敏度(du)高,有小的始(shi)動流量傳感(gan)器芯片采用(yong)熱質量🥵流量(liàng)計量,無需溫(wen)度壓力補償(chang),保證了傳感(gǎn)器的高精度(du)計量在單個(ge)芯片上實現(xian)了多傳感器(qì)集成🌈,使傳感(gan)器的量📐程比(bi)大大提高傳(chuan)感器的零點(diǎn)穩定度高全(quán)量程高穩定(ding)性全量程高(gāo)精确度和優(yōu)良的重複性(xing)低功耗低壓(yā)損響🔴應時間(jian)快
主要參數(shù):

性能參數

FS4001

單(dan)位

1.0

1.8

mm

大流(liu)量

30, 100, 200

500, 1000

SCCM

量程比

≥100:1

 

精(jing) 度

±(1.5+0.2FS)

重複性

0.25

%讀(du)數

零點輸出(chu)飄移

±30

mV

輸出飄(piao)移

±0.12

%/oC

響應時間(jian)

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

工作電源

8~18Vdc,50mA

 

輸(shu)出方式

線性(xing),RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc

 

大(dà)流量壓損

350

300

pa

大(dà)工作壓力

0.5

存儲(chu)溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕(shī)度

<95%RH(無結冰、無(wu)凝露)

 

機械接(jiē)口

可拆式軟(ruan)管接頭

 

校準(zhǔn)方式

空氣(或(huo)其他氣體),20oC,101.325kPa

 

重(zhòng)量

15

g

機械尺寸(cùn):

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