FS4001系(xi)列小流量氣(qì)體質量流量(liang)傳感器

産品(pǐn)時間：2025-12-01

簡要描(miao)述：

FS4001系列小流(liú)量氣體質量(liang)流量傳感器(qì)是專門爲各(ge)類小流量氣(qì)體㊙️的測量和(hé)過程控制而(ér)設計的。這一(yi)系👅列傳感器(qì)均采用本公(gong)司自主研發(fa)的微機電系(xi)統（MEMS）流量傳感(gan)芯片來制作(zuo)，适用于📞各類(lei)清潔氣體。*的(de)封裝技術使(shi)之可用于各(gè)類管徑，成本(běn)低、易🧑🏽‍🤝‍🧑🏻安裝、不(bú)需要溫度壓(yā)力補償，可替(tì)代🔴容積式或(huo)壓差式的傳(chuan)統流量傳感(gǎn)器。

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詳(xiáng)細介紹

産品(pǐn)簡介：

FS4001系列小(xiao)流量氣體質(zhì)量流量傳感(gǎn)器 是專門爲(wèi)各類小流量(liang)氣體的測量(liang)和過程控制(zhi)而設😄計💋的。這(zhe)一系列傳感(gǎn)器均采用本(ben)公司自主研(yan)發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量⛱️傳(chuán)感芯片來制(zhì)作，适用于各(ge)類☎️清潔氣體(ti)。*的封裝技術(shù)使之可用于(yu)各類管徑，成(cheng)本⭕低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度(du)壓力補償，可(ke)替代容積式(shi)或壓差式的(de)傳統流量傳(chuan)感✏️器。

産品特(tè)點：

FS4001系列(liè)小流量氣體(ti)質量流量傳(chuán)感器 靈敏度(du)高,有小的始(shǐ)動流量傳感(gan)器芯片采用(yong)熱質量🙇‍♀️流量(liang)計量,無需溫(wēn)度壓力補償(chang),保證了傳感(gan)器的高精度(dù)計量在單個(ge)芯片上實現(xian)了多傳感器(qì)集成,使傳感(gǎn)器的量🌂程比(bi)大大提高傳(chuan)感器的零點(diǎn)穩定度高全(quán)量程高穩定(ding)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻性全量程高(gao)精确度和優(you)良的㊙️重複性(xìng)低功耗低壓(ya)損響🌂應時間(jian)快
主要參數(shù)：

性能參數	FS4001		單(dan)位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀(du)數
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出飄(piao)移	±0.12		%/oC
響應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式	線性(xing)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大(da)流量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力	0.5		MPa
工(gong)作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chu)溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械接(jie)口	可拆式軟(ruan)管接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g

機械尺寸(cùn)：

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