FS4001系列小流(liu)量氣體質量(liang)流量傳感器(qi)是專門爲各(gè)類小流量氣(qi)體的測量和(he)過程控制而(er)設計的。這一(yi)系⛱️列傳感器(qi)均采用本公(gōng)司自主研發(fā)的微機電系(xì)統(MEMS)流量傳感(gǎn)芯片來制作(zuò),适用于各類(lèi)清🔞潔氣體。*的(de)封裝技術使(shǐ)之可用于各(gè)類管徑🚶♀️,成本(běn)低、易安裝、不(bu)需要溫度壓(ya)力補償,可替(tì)代容積式或(huo)壓差式的傳(chuan)統流量傳感(gan)器。
産品(pǐn)簡介:
産品特(te)點 :
FS4001系列(lie)小流量氣體(ti)質量流量傳(chuán)感器
靈敏度(du)高,有小的始(shi)動流量傳感(gan)器芯片采用(yong)熱質量🥵流量(liàng)計量,無需溫(wen)度壓力補償(chang),保證了傳感(gǎn)器的高精度(du)計量在單個(ge)芯片上實現(xian)了多傳感器(qì)集成🌈,使傳感(gan)器的量📐程比(bi)大大提高傳(chuan)感器的零點(diǎn)穩定度高全(quán)量程高穩定(ding)性全量程高(gāo)精确度和優(yōu)良的重複性(xing)低功耗低壓(yā)損響🔴應時間(jian)快
主要參數(shù):
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性能參數 |
FS4001 |
單(dan)位 |
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通 徑 |
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1.8 |
mm |
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30, 100, 200 |
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SCCM |
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±(1.5+0.2FS) |
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%讀(du)數 |
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零點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
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±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jian) |
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工作電源 |
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輸(shu)出方式 |
線性(xing),RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大(dà)流量壓損 |
pa |
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大(dà)工作壓力 |
0.5 |
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工(gōng)作溫度 |
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存儲(chu)溫度 |
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oC |
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工作濕(shī)度 |
<95%RH(無結冰、無(wu)凝露) |
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機械接(jiē)口 |
可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校準(zhǔn)方式 |
空氣(或(huo)其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重(zhòng)量 |
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g |
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機械尺寸(cùn):
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