産品時(shi)間：2025-12-01
氣(qi)體檢測/測漏流(liu)量計傳感器靈(ling)敏度高,有極小(xiǎo)的🌈始動流量
- 傳(chuan)感器芯片采用(yong)熱質量流量計(ji)量,無需溫度壓(yā)力補償,保證了(le)傳
- 感器的高精(jīng)度計量
- 在單個(gè)芯片上實現了(le)多傳感器集成(cheng),使傳感器的量(liàng)程比大大提高(gāo)
- 傳感器的零點(dian)穩定度高 全量(liang)程高穩定性
産品簡介(jie)：
FS4001系列小流量氣(qi)體質量流量傳(chuán)感器是專門爲(wei)各類小📱流量♈氣(qi)體的測量和過(guò)程控制而設計(ji)的。這一系列傳(chuán)感器均采用本(běn)📱公司☎️自主研發(fā)的微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來制作，适用于(yú)各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使(shi)之可用于🏃🏻各類(lèi)管徑，成本低、易(yì)安裝、不需🙇🏻要溫(wēn)度壓力補償，可(ke)替代✂️容積式或(huò)壓差式的傳統(tong)流量傳感器。
氣(qi)體檢測/測漏流(liú)量計産品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度(du)高,有極小的始(shǐ)動流量
- 傳感器(qi)芯片采用熱質(zhi)量流量計量,無(wu)需溫度壓力補(bu)償🈲,保證🐪了傳
- 感(gǎn)器的高精度計(ji)量
- 在單個芯片(piàn)上實現了多傳(chuán)感器集成,使傳(chuán)感器的量❌程比(bǐ)大大☀️提高
- 傳感(gǎn)器的零點穩定(dìng)度高
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全量程(chéng)高精确度和優(yōu)良的重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓損
- 響(xiǎng)應時間快
主要(yào)參數：
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性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.8 |
mm |
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30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
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精 度(dù) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零(líng)點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shu)出方式 |
線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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zui大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工作壓(ya)力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
oC |
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存(cún)儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH（無結冰、無凝(níng)露） |
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機械接口 |
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校準方式 |
空氣(qi)（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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15 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
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