氣體(ti)檢測/測漏流量計(ji)傳感器靈敏度高(gāo),有極小的始💋動流(liu)量
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量計(jì)量,無需溫度壓力(li)補償,保證了傳
- 感(gǎn)器的高精度計量(liang)
- 在單個芯片上實(shi)現了多傳感器集(jí)成,使傳感器的量(liàng)✔️程☂️比大🏃♂️大💯提高
- 傳(chuán)感器的零點穩定(dìng)度高 全量程高穩(wen)定性
氣體檢測/測漏流(liu)量計
産品簡介：
FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhi)量流量傳感器是(shi)專門爲各類小🈲流(liu)量氣體的測量和(he)過程控制而設計(ji)的。這一系列傳感(gǎn)器均采用本公司(si)🌈自主研發的微機(jī)電系統（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制作，适用(yong)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封♌裝技術使之(zhi)可用于😄各類管徑(jing)，成本低、易👅安裝、不(bu)需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式(shì)或壓差式的傳統(tǒng)❗流量傳感器✏️。
氣體(tǐ)檢測/測漏流量計(jì)産品特點：
- 傳感器(qì)靈敏度高,有極小(xiǎo)的始動流量
- 傳感(gan)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需(xu)溫度壓力補償,保(bao)👈證了傳
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個(gè)芯片上實現了多(duō)傳感器集成,使傳(chuan)感器的量程比大(dà)大提高
- 傳感器的(de)零點穩定度高
- 全(quan)量程高穩定性
- 全(quan)量程高精确度和(he)優良的重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時間快
主要參數(shu)：
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比(bǐ) |
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精 度 |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數(shù) |
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零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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8~18Vdc,50mA |
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輸出方(fāng)式 |
線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
|
zui大工(gong)作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(du) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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<95%RH（無結冰、無凝露(lu)） |
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機械接口 |
可拆式(shi)軟管接頭 |
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校準方(fang)式 |
空氣（或其他氣(qi)體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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