微小氣體流量計,MF4001氣體流量計-廣州迪川儀器儀表有限公司
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微小氣體流量(liang)計,MF4001氣體流量計

産(chǎn)品時間:2026-01-09

簡要描述(shù):

微小氣體流量計(ji),MF4001氣體流量計是廣(guang)州迪川儀器儀表(biao)有限🔞公司專門爲(wèi)各類小流量氣體(ti)的測量和過程控(kòng)制而🏃🏻設計的。這一(yi)系列傳感器均采(cai)用本公司自主研(yan)✍️發的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,适用于各類(lèi)☀️清潔氣體。*的封裝(zhuang)技術使之可用于(yu)各類📧管徑,成本低(di)、易安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償,可替(tì)代🚶容積式或壓差(chà)式的傳統流量傳(chuan)感器。

微小氣體流量計(jì),MF4001氣體流量計

産品簡介:
FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhi)量流量傳感器是(shi)廣州迪川儀⛷️器儀(yi)🐇表有限公司專門(mén)爲各類小流量氣(qi)體的測量和過程(cheng)控🍉制而設計🈲的。這(zhè)一系列傳感器均(jun1)采用本公司自主(zhǔ)研發的微機電系(xì)統( MEMS)流量傳感(gan)芯片來制作,适用(yong)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封😘裝技⛷️術😍使之(zhī)可用于各類管徑(jìng),成本低、易安裝、不(bu)需要溫度壓🏃🏻‍♂️力補(bu)償,可替代容積式(shì)或壓差式的傳統(tong)流量傳感器。
産品特點:  微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體流(liú)量計
  - 傳感器(qì)靈敏度高 ,有(you)極小的始動流量(liang)
  - 傳感器芯片(piàn)采用熱質量流量(liàng)計量 ,無需溫(wen)度壓力補償 ,保證了傳
  - 感(gan)器的高精度計量(liang)
  - 在單個芯片(piàn)上實現了多傳感(gan)器集成 ,使傳(chuán)感器的量程比大(dà)大提高
  - 傳感(gǎn)器的零點穩定度(du)高
  - 全量程高(gao)穩定性
  - 全量(liang)程高精确度和優(you)良的重複性
  - 低功耗
  - 低壓(ya)損
  - 響應時間(jian)快
主要參數(shu):

性能參數

FS4001

單位

 

1.0

mm

zui大流量(liàng)

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比

2132132132131231312100:1

 

 

±(1.5+0.2FS)

%

重(zhòng)複性

0.25

%讀數

零點輸出飄移(yí)

±30

mV

輸出飄移

±0.12

%/oC

響應時間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

8~18Vdc,50mA

 

輸(shu)出方式

線性(xìng), RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc

 

zui大流量壓損

350

300

pa

zui大工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

存儲溫度

-20 ~ +65

oC

工(gong)作濕度

<95%RH(無結(jie)冰、無凝露)

 

機(ji)械接口

 

校準方式

空(kōng)氣(或其他氣體), 20oC101.325kPa

重量

15

g

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