流量測(cè)量技術之 微小流量(liang) 的測量(liàng)     
半導體(tǐ)制造業、生物(wù)工程、精細化(huà)工等的興起(qǐ)，使流量測量(liàng)向低端延伸(shen)，小流量計流(liu)量的要求在(zài)上世紀 80 ∽ 90 年代凸(tū)顯起來。何謂(wei)小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限(xiàn)，小流量因應(ying)用領域而異(yì)是一🏃個模糊(hú)的概念。管道(dào)小流量測量(liang)體現于管徑(jing)小和流速低(di)兩♉個層次，就(jiu)🌍流程工業而(ér)言，習慣上 DN10 甚至 DN15 以下管徑流(liu)量測量稱之(zhī)小流量測量(liàng)，通常其流量(liàng)值液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量儀表(biǎo)滿度流量時(shi)的流速低于(yu) 0.1m/s 。
1 、測(cè)量方法
傳統小流量(liàng)測量技術節(jie)流差壓 ( 層流 ) 法(fa)、浮子法和容(rong)積法等有了(le)的改進，新測(cè)量技術如😘超(chao)聲法、熱法🌈、科(kē)裏奧利法等(deng)也有成效地(dì)應于液體和(hé)氣體小流量(liàng)測量。
2 、特(tè)點
微小(xiǎo)流量與一般(ban)流量測量相(xiang)比較，具有以(yi)下特點。
1) 雷諾數低
一般管道(dào)流動均爲紊(wen)流流動，流量(liàng)儀表也是針(zhen)對紊流流動(dòng)态🔱設計的，而(er)小流量儀表(biǎo)因管徑小常(cháng)處于層流流(liu)動 ( 例如(rú)管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或(huo)層流 / 紊(wen)流過渡區流(liú)态流動，小流(liu)量測量受使(shi)用中流體黏(nián)度變化影響(xiǎng)頗大。
2) 要(yào)用實際使用(yong)流體校準
液體流量(liàng)儀表一般用(yòng)水校準，氣體(ti)用空氣校準(zhun)。若知道🈚實際(ji)測👉量流體與(yǔ)校準流體間(jian)某些物性不(bú)同對示值有(you)🏃🏻規律變化時(shi)，中大管徑流(liu)量儀表常以(yi)适當系數修(xiu)正。但有些小(xiao)流量儀表受(shou)黏🍉度等流體(ti)物性影響大(dà)，須以實際使(shǐ)用流體校準(zhun)。所幸流量小(xiao)，用☁️實際使用(yòng)流體校準難(nan)度♌不大，但在(zai)作有害性流(liú)體校準時應(yīng)注意安全和(he)環境污染。
3) 要求測量(liang)時防止污染(ran)流體
若(ruo)測量潔淨氣(qì)體和純水常(chang)不允許接觸(chù)流體的儀表(biǎo)零件材料析(xi)出離子，例如(rú)半導體制備(bèi)中儀表不能(néng)用金屬🔱和玻(bō)⚽璃制成，隻♻️能(neng)用塑料。流體(ti)中也不允許(xǔ)混入活動件(jiàn)的磨蝕塵粒(lì)。流量儀表流(liu)通通道要盡(jìn)可能簡🏒單，不(bú)應有潴留 ( 指液體在(zai)體内不正常(cháng)地聚集停留(liú) ) 部位，防(fáng)止潴留介質(zhì)變質。
4) 氣(qi)泡和塵埃附(fù)着的影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加，液(yè)體中微細氣(qi)泡易在管系(xi)流😘動過程中(zhōng)積聚變大，使(shǐ)測量時指示(shi)不穩，度下降(jiang)。流體中塵埃(ai)附着測量元(yuán)件也要影響(xiang)測量值，例如(ru)浮子流量計(ji)的浮子上沉(chen)積有肉📱眼覺(jiao)察不出的附(fù)着㊙️層也會影(ying)響示值。
5) 流量儀表品(pǐn)種使用上受(shòu)到一定限制(zhì)
在衆多(duō)測量原理流(liú)量儀表中，因(yīn)各種原因小(xiao)流量應🏃🏻用📞受(shou)到📞一些限制(zhi)，當前能應用(yong)于小流量的(de)品種如表格(gé)所示