流量測量技(ji)術之 微小(xiao)流量 的測(cè)量     
半導體(tǐ)制造業、生物工(gong)程、精細化工等(děng)的興起，使流量(liàng)測量向低端延(yán)伸，小流量計流(liu)量的要求在上(shàng)世紀 80 ∽ 90 年代凸顯起來(lai)。何謂小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限，小(xiao)流量因應用領(ling)域而異是一個(gè)模糊💁的概念。管(guǎn)道小流量測量(liàng)體現于管徑😍小(xiǎo)和流速低兩個(ge)層次，就流程工(gong)業而言，習慣上(shang) DN10 甚至 DN15 以下管徑流量(liang)測量稱之小流(liú)量測量，通常其(qi)流量值液體爲(wèi) 1L/min 或 0.06m3/h 以(yi)下，流量儀表滿(mǎn)度流量時的流(liú)速低于 0.1m/s 。
1 、測量方法
傳統小流量(liang)測量技術節流(liu)差壓 ( 層流(liú) ) 法、浮子法(fa)和容積法等有(you)了的改進，新測(ce)量技術如超聲(sheng)法、熱法、科裏奧(ào)利法等也有成(cheng)效地應于液體(ti)和氣體小流量(liang)✨測量。
2 、特點(dian)
微小流量(liang)與一般流量測(ce)量相比較，具有(yǒu)以下特點。
1) 雷諾數低
一般管道流動(dong)均爲紊流流動(dong)，流量儀表也是(shì)針對紊流流動(dong)态設計的，而小(xiǎo)流量儀表因管(guan)徑小常處于層(céng)流流動 ( 例(li)如管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊流過渡(dù)區流态流動，小(xiao)流量測量受使(shi)用中流體黏度(dù)變🍓化🐕影🐉響頗大(da)。
2) 要用實際(jì)使用流體校準(zhun)
液體流量(liang)儀表一般用水(shui)校準，氣體用空(kōng)氣校準。若知道(dào)實👌際測量流體(tǐ)與校準流體間(jian)某些物性不同(tong)對示值有規律(lǜ)變化😄時，中大管(guǎn)徑流量儀表常(cháng)以适當系數㊙️修(xiu)正。但有些小流(liú)量儀🚶‍♀️表受黏度(du)等流體物性影(yǐng)響大，須以實際(jì)使用流體🔞校準(zhǔn)。所幸流量小，用(yòng)實際使用流體(ti)校準難度不大(dà)，但在作有害性(xìng)流體校準時應(yīng)注意安全和環(huán)境污染。
3) 要(yao)求測量時防止(zhǐ)污染流體
若測量潔淨氣(qì)體和純水常不(bu)允許接觸流體(tǐ)的儀表零件材(cái)料析出離子，例(li)如半導體制備(bèi)中儀表不能用(yong)金屬和玻璃制(zhi)成，隻能用塑料(liao)。流體中也不允(yǔn)許混入活動件(jiàn)的磨蝕🌈塵粒。流(liu)🏃量儀表流通通(tōng)道要盡可能簡(jiǎn)單，不應有潴留(liú) ( 指液體在(zài)體内不正常地(dì)聚集停留 ) 部位，防止潴留(liú)介質變質。
4) 氣泡和塵埃附(fù)着的影響
因管徑小黏性(xìng)增加，液體中微(wēi)細氣泡易在管(guan)系流動過程♉中(zhōng)積聚變大，使測(cè)量時指示不穩(wěn)，度下降。流體中(zhōng)塵埃附着🌈測量(liang)元件也要影響(xiang)測量值，例如浮(fu)子流量計的浮(fú)🐇子上沉積有肉(rou)眼覺察不出的(de)附着層也會影(ying)響示值。
5) 流(liú)量儀表品種使(shǐ)用上受到一定(dìng)限制
在衆(zhong)多測量原理流(liu)量儀表中，因各(ge)種原因小流量(liàng)應用🈲受到一些(xie)限制，當前能應(ying)用于小流量的(de)品種如表格所(suǒ)示